Современные решения для производства электроники


memsstar

Компания memsstar специализируется на разработке и производстве оборудования для процессов травления и осаждения, применяемых при производстве МЭМС, а также восстановлении оборудования известных брендов, таких как Applied Materials, LAM Research и Novellus. Ключевые компетенции: удаление жертвенных слоёв Si и SiO2 и формирование покрытий для снижения трения в подвижных частях МЭМС.

Модельный ряд memsstar

ORBIS ALPHA XERIC - установка травления кремния и оксида кремния
Установка предназначена для изотропного травления кремния и оксида кремния в непрерывном потоке, с высокоточным дозированием, контролем температуры и давления рабочего газа
ORBIS ALPHA AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы
Установка Orbis Alpha AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers).
ORBIS 1000 AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы
Установка ORBIS 1000 AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers).
Другие производители