Современные решения для производства электроники

ORBIS 1000 AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы

ORBIS 1000 AURIX

Установка ORBIS 1000 AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers). Типичной областью применения является производство МЭМС (снижения трения и в подвижных частях, предотвращение залипания), микрофлюидных систем (предотвращения адсорбции органических молекул в каналах), а также улучшение адгезии полимеров на поверхности полупроводниковых материалов и другие применения.

Установка состоит из базовой платформы Orbis 1000 и модуля AURIX. Orbis 1000 является платформой, хорошо подходящей для исследовательских разработок и небольших серийных производств. Рабочий процесс является полностью автоматизированным, что в сочетании со шлюзовой загрузкой образцов значительно снижает длительность цикла обработки. Модуль AURIX предназначен для осаждения SAM.

Основные особенности и преимущества:

  • Точный контроль параметров процесса, в широком диапазоне
  • Увеличенная производительность
  • Управление с помощью ПК и сенсорного экрана
  • Возможность встраивания в кластер с другим оборудованием

Технические характеристики:

Нагрев образцов

До 300°С

Нагрев стенок камеры

До 70°С

Удалённый источник плазмы

НЧ

Газовые линии

Линии прекурсоров -3 шт.

Линия инертного газа – 1 шт.

Управление

ПК под управлением ОС Windows, сенсорный экран

 

keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Осаждение органических пленок (MVD)