Современные решения для производства электроники

Kenosistec KE 500/1000 - установки вакуумного термического и электронно-лучевого напыления тонких пленок

Kenosistec KE 500/1000

Установки KE 500/1000 позволяют проводить электронно-лучевое или термическое напыление тонких пленок. Оснащаются электронно-лучевым или термическим испарителем, системой вакуумных насосов с измерительными датчиками, вращающимся подложкодержателем, резистивными элементами для предварительного нагрева подложек и нагрева подложек в процессе осаждения. Идеально подходят для лабораторных исследований и производства мелкой партии изделий. В зависимости от требований заказчика может проводиться очистка образцов RF/DC плазмой.

Технические характеристики:

Модель

 КЕ 500

КЕ 1000

Размеры вакуумной камеры

Ø 500 мм,

700 мм (В)

Ø 1000 мм,

900 мм (В)

Мощность источника термического испарения (макс.)

3 кВт

6 кВт

Мощность электронно-лучевого источника (макс.)

6 кВт

15 кВт

Размер подложек (макс.)

200 мм

800 мм

Нагрев подложек (макс.)

400 °С

Очистка подложек

RF/DC плазма

Однородность толщины напыляемых пленок

± 3% (для подложек диаметром 102 мм)

Типы вакуумных насосов

Криогенный, турбомолекулярный

Предельный вакуум в камере

2х10−7 мбар (опционально 10−9 мбар)

 

Cистемы магнетронного напыления тонких пленок

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Электронно-лучевое напыление