Kenosistec KE 500/1000 - установки вакуумного термического и электронно-лучевого напыления тонких пленок

Установки KE 500/1000 позволяют проводить электронно-лучевое или термическое напыление тонких пленок. Оснащаются электронно-лучевым или термическим испарителем, системой вакуумных насосов с измерительными датчиками, вращающимся подложкодержателем, резистивными элементами для предварительного нагрева подложек и нагрева подложек в процессе осаждения. Идеально подходят для лабораторных исследований и производства мелкой партии изделий. В зависимости от требований заказчика может проводиться очистка образцов RF/DC плазмой.

Технические характеристики:

Модель	КЕ 500	КЕ 1000
Размеры вакуумной камеры	Ø 500 мм, 700 мм (В)	Ø 1000 мм, 900 мм (В)
Мощность источника термического испарения (макс.)	3 кВт	6 кВт
Мощность электронно-лучевого источника (макс.)	6 кВт	15 кВт
Размер подложек (макс.)	200 мм	800 мм
Нагрев подложек (макс.)	400 °С
Очистка подложек	RF/DC плазма
Однородность толщины напыляемых пленок	± 3% (для подложек диаметром 102 мм)
Типы вакуумных насосов	Криогенный, турбомолекулярный
Предельный вакуум в камере	2х10−7 мбар (опционально 10−9 мбар)