Kenosistec KS 40/80/120V - установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок c вертикальным расположением магнетронных источников

Установки KS 40V/80V/120V позволяют проводить одно- и многослойное магнетронное осаждение тонких пленок. Оснащены магнетронными источниками (DC/RF) c вертикальным расположением мишеней, системой вакуумных насосов с измерительными датчиками, системой подачи рабочих газов с регулировкой расхода, вращающимся подложкодержателем, резистивными элементами для предварительного нагрева подложек и нагрева подложек в процессе осаждения. Ключевой особенностью моделей KS 40V/80V/120V является высочайшая однородность напыляемых слоев по толщине благодаря вертикальному расположению магнетронов и подложек, а также возможность обработки большого количества образцов за один цикл. В зависимости от требований заказчика может проводиться очистка образцов и травление.

Технические характеристики:

Модель	KS 40V	KS 80V	KS 120V
Размеры вакуумной камеры	Ø 500 мм, 400 мм (В)	Ø 1000 мм, 800 мм (В)	Ø 1000 мм, 1200 мм (В)
Количество магнетронных источников	До 6 шт.
Длина магнетронных источников (макс.)	305 мм	559 мм	910 мм
Мощность DC источника питания (макс.)	5 кВт	10 кВт	10 кВт
Мощность RF источника питания (макс.)	1,5 кВт	5 кВт	5 кВт
Нагрев подложек	350 °С макс.; опционально – 800 °С
Охлаждение подложек	Вода или жидкий азот
Размер подложек (макс.)	254 мм	508 мм	864 мм
Однородность толщины напыляемых пленок	± 3% (для подложек диаметром 102 мм)
Типы вакуумных насосов	Криогенный, турбомолекулярный
Предельный вакуум в камере	2х10−7 мбар (опционально 10−9 мбар)