TFE Polygon - установки вакуумного напыления
TFE Polygon — установки вакуумного напыления тонких пленок кластерного типа. По требованию заказчика кластер может включать в себя от пяти до десяти рабочих камер, а также транспортный модуль, одну либо две загрузочные камеры и отдельно стоящий шкаф управления.
|
Количество рабочих камер (стандарт) |
5 |
|
Максимальное количество рабочих камер |
10 |
|
Нагрев подложек |
До 4−х нагревателей, 400°С |
|
Размеры подложек |
От 50 до 300 мм |
|
Материалы подложек |
Si, SiC, GaN, стекло, InP и др. |
|
Типы вакуумных насосов |
Криогенный, турбомолекулярный |
|
Предельный вакуум в камере |
3 х 10−8 мбар |
|
Конфокальное осаждение |
Опционально |
|
Реактивное травление |
В азоте и кислороде |
Итальянская компания TFE специализируется на системах магнетронного напыления тонких пленок