ABM/6/350/NUV/DCCD/SA - полуавтоматическая система одностороннего совмещения

Особенно подходит для производства оптико-электронных устройств и светодиодов, управляется с помощью PLC-контроллера и сенсорного экрана. Процесс запускается одним нажатием кнопки, что эффективно повышает производительность и стабильность.

Основные технические характеристики:

— 6” источник излучения
— Точность совмещения: +/- 0.5 микрон
— Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными  подложками
— Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1
— Поддержка PSS-процесса
— Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
— Режимы управления с постоянной интенсивностью и мощностью
— Возможность расширения до двухсторонней системы экспонирования (опция)
— 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
— Управление с помощью программируемого логического контроллера и сенсорного экрана.
— Регулируемый по мощности 2−х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт.
— Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция)