SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования

УФ источник

200 — 2000 Вт, длина волны: 365 нм;

Интенсивность: 25−30 мВт/см2 (для области 100 мм диаметром) ;

Область однородного излучения: 100 ммx100 мм — 200х200 мм ;

Однородность излучения: ±5% ;

Угол расхождения: < 2.0 градуса

Система совмещения

ССD камера (опционально возможно двустороннее совмещение); увеличение: 80х – 500х;

Два цветных монитора 19’’; LED коаксиальная подсветка;

Перемещение по оси X: ± 35 мм; по оси Y: ± 20 мм

Рабочий столик

Компенсация ошибки клина

Держатель фотошаблонов: 4−9" (другие размеры — по запросу)

Настройка по осям X, Y, Z и углу поворота θ в диапазонах: X, Y, Z: 10 мм, θ : 5 градуса;

Точность: 1 мкм;

Режимы экспонирования: контактный и с зазором (0−5 мм)

Интерфейс

Управление с помощью ПЛК;

Время экспонирования: до 999.9 с;

Быстрая смена фотошаблона;

Кнопка аварийного выключения

Опции

Антивибрационный стол, воздушный компрессор, вакуумный насос, держатель кусочков пластин