DaLI - настольная система безмасковой литографии
Универсальная настольная
система безмасковой лазерной литографии DaLI идеально подходит для производства
изделий микроэлектроники, квантовых устройств, фотошаблонов, изделий
микрофлюидики и биофизики, позволяя формировать структуры субмикронных размеров
как на плоских подложках, так и на подложках переменной толщины.
Форма, размеры и характеристики поверхности подложки не влияют на качество процесса. Даже объекты размерами менее 1 мм могут быть обработаны, как стандартные пластины и подложки.
Программное обеспечение позволяет выбирать размеры пятна, разрешение и двумерные промежутки, алгоритмы совмещения, обеспечивая точное формирование рисунка с краями, гладкость которых ограничена только разрешением фоторезиста.
Система полностью управляется с ПК, что существенно упрощает процесс прототипирования и снижает длительность процесса настройки. Система имеет интеллектуальное программное обеспечение для создания трехмерных структур, непосредственно послойное совмещение по реперным меткам и масштабирование с помощью встроенного микроскопа.
Корпус системы включает в себя чиллер для температурной стабилизации, что гарантирует высокую точность и качество формирования микроструктур.
Ключевые преимущества системы DaLI
- Компактный настольный дизайн
- Субмикронное разрешение
- Управление с помощью ПК
- Многослойное совмещение
- Температурная стабилизация
Применения системы DaLi
- Микроэлектроника, прототипирование фотошаблонов
- Квантовые технологии
- МЭМС, сенсоры
- Микрофлюидика
Технические характеристики системы DaLI
|
Общие |
Размеры подложек От долей мм до 100х100х10 мм |
Поддерживаемые фоторезисты: все известные фоторезисты |
|
Оптические |
Длина волны лазерного излучения: 375 или 405 нм |
Размеры точки, мкм 1 и 3 (выбор с помощью ПО) |
|
Производительность |
Аспектовое отношение формируемых структур – более, чем 1:20 (до 1:40) Скорость печати (точек в секунду) 100 000 Гц |
Разрешение печати: субмикронное Минимальный размер структур: менее 1 мкм Точность при многослойном совмещении 0,5 мкм |
|
Пользовательский интерфейс |
Входные форматы данных: DXF, BMP |
Встроенный оптический монохромный или цветной микроскоп для совмещения и визуализации |
|
Технические данные |
Размеры (ШхГхВ): 650х626х522 мм Питание: 110−230, 50/60 Гц Чиллер 133х483х559 мм, 15 кг, 250 Вт |
Рабочая влажность менее 80% Вес: 77 кг Энергопотребление: менее 120 ВА |
Система DaLi включается в себя чиллер, все кабели, шланги и необходимое ПО.
