Современные решения для производства электроники

DaLI - настольная система безмасковой литографии

Универсальная настольная система безмасковой лазерной литографии DaLI идеально подходит для производства изделий микроэлектроники, квантовых устройств, фотошаблонов, изделий микрофлюидики и биофизики, позволяя формировать структуры субмикронных размеров как на плоских подложках, так и на подложках переменной толщины.

Форма, размеры и характеристики поверхности подложки не влияют на качество процесса. Даже объекты размерами менее 1 мм могут быть обработаны, как стандартные пластины и подложки.

Программное обеспечение позволяет выбирать размеры пятна, разрешение и двумерные промежутки, алгоритмы совмещения, обеспечивая точное формирование рисунка с краями, гладкость которых ограничена только разрешением фоторезиста.

Система полностью управляется с ПК, что существенно упрощает процесс прототипирования и снижает длительность процесса настройки. Система имеет интеллектуальное программное обеспечение для создания трехмерных структур, непосредственно послойное совмещение по реперным меткам и масштабирование с помощью встроенного микроскопа.

Корпус системы включает в себя чиллер для температурной стабилизации, что гарантирует высокую точность и качество формирования микроструктур.

Ключевые преимущества системы DaLI

  • Компактный настольный дизайн
  • Субмикронное разрешение
  • Управление с помощью ПК
  • Многослойное совмещение
  • Температурная стабилизация

Применения системы DaLi

  • Микроэлектроника, прототипирование фотошаблонов
  • Квантовые технологии
  • МЭМС, сенсоры
  • Микрофлюидика

Технические характеристики системы DaLI

Общие

Размеры подложек

От долей мм до 100х100х10 мм

Поддерживаемые фоторезисты: все известные фоторезисты

Оптические

Длина волны лазерного излучения: 375 или 405 нм

Размеры точки, мкм

1 и 3 (выбор с помощью ПО)

Производительность

Аспектовое отношение формируемых структур – более, чем 1:20 (до 1:40)

Скорость печати (точек в секунду) 100 000 Гц

Разрешение печати: субмикронное

Минимальный размер структур: менее 1 мкм

Точность при многослойном совмещении 0,5 мкм

Пользовательский интерфейс

Входные форматы данных: DXF, BMP

Встроенный оптический монохромный или цветной микроскоп для совмещения и визуализации

Технические данные

Размеры (ШхГхВ): 650х626х522 мм

Питание: 110−230, 50/60 Гц

Чиллер

133х483х559 мм, 15 кг, 250 Вт

Рабочая влажность менее 80%

Вес: 77 кг

Энергопотребление: менее 120 ВА

Система DaLi включается в себя чиллер, все кабели, шланги и необходимое ПО.


Видео DaLI
Универсальная настольная система безмасковой лазерной литографии
Компания-производитель оборудования для безмасковой лазерной литографии

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Безмасковая литография