POLOS MicroPrinter - бюджетная установка безмасковой литографии
POLOS MicroPrinter представляет собой установку безмасковой литографии для быстрого прототипирования, реализованную на базе проекционной технологии μLCD, совместимой с большинством современных фоторезистов и подложек. Использование данной установки позволяет получать топологию непосредственно на подложке без использования фотошаблонов. Основные применения установки POLOS MicroPrinter: микроэлектроника, 2D−материалы, микрофлюидика, оптоэлектроника, оптика и т.д.
Особенности модели POLOS MicroPrinter:
- Максимальное разрешение до 2мкм
- Возможность изменения скорости письма и разрешения за счет сменных объективов
- Совместимость с CAD файлами и изображениями bitmap
- Совместимость
с g-line фоторезистами - Подходит для подложек различных материалов (кремний, стекло, металл, пластик) с размерами до 100х100мм
- Имеет камеру для совмещения слоев по реперным меткам
Преимущества модели POLOS MicroPrinter:
- Экономия времени и средств за счет отсутствия необходимости использования фотошаблонов
- Интуитивно понятный метод совмещения за счет прямого захвата меток в ПО
- Настольное исполнение, компактные размеры
- Установка идеально подходит для лабораторий и исследовательских центров
Технические характеристики POLOS MicroPrinter:
Длина волны |
Экспонирование: 435 нм, Совмещение: 525 нм |
Максимальное разрешение |
От 2мкм до 23мкм (в зависимости от выбранного объектива) |
Точность совмещения |
до 1 мкм/см2 |
Максимальная область экспонирования |
75 x 75 мм2 |
Размер подложки |
До 100х100мм |
Габариты |
Ш: (36 см); Г: (36 см); В: (60 см) |
Оборудование для совмещения и экспонирования, установки вакуумного напыления тонких пленок, установки травления и др.