POLOS MicroPrinter - бюджетная установка безмасковой литографии
 POLOS MicroPrinter представляет собой установку безмасковой
литографии для быстрого прототипирования, реализованную на базе проекционной
технологии μLCD, совместимой с большинством современных фоторезистов и
подложек. Использование данной установки позволяет получать топологию
непосредственно на подложке без использования фотошаблонов. Основные применения
установки POLOS MicroPrinter: микроэлектроника, 2D−материалы, микрофлюидика,
оптоэлектроника, оптика и т.д.
POLOS MicroPrinter представляет собой установку безмасковой
литографии для быстрого прототипирования, реализованную на базе проекционной
технологии μLCD, совместимой с большинством современных фоторезистов и
подложек. Использование данной установки позволяет получать топологию
непосредственно на подложке без использования фотошаблонов. Основные применения
установки POLOS MicroPrinter: микроэлектроника, 2D−материалы, микрофлюидика,
оптоэлектроника, оптика и т.д.
Особенности модели POLOS MicroPrinter:
- Максимальное разрешение  до 2мкм
- Возможность изменения скорости письма и разрешения за счет сменных объективов
- Совместимость с CAD файлами и изображениями bitmap
- Совместимость с g-line фоторезистами
- Подходит для подложек различных материалов (кремний, стекло, металл, пластик) с размерами до 100х100мм
- Имеет камеру для совмещения слоев по реперным меткам
Преимущества модели POLOS MicroPrinter:
- Экономия времени и средств за счет отсутствия необходимости использования фотошаблонов
- Интуитивно понятный метод совмещения за счет прямого захвата меток в ПО
- Настольное исполнение, компактные размеры
- Установка идеально подходит для лабораторий и исследовательских центров
 
Технические характеристики POLOS MicroPrinter:
| Длина волны | Экспонирование: 435 нм, Совмещение: 525 нм | 
| Максимальное разрешение | От 2мкм до 23мкм (в зависимости от выбранного объектива) | 
| Точность совмещения | до 1 мкм/см2 | 
| Максимальная область экспонирования | 75 x 75 мм2 | 
| Размер подложки | До 100х100мм | 
| Габариты | Ш: (36 см); Г: (36 см); В: (60 см) | 
Оборудование для совмещения и экспонирования, установки вакуумного напыления тонких пленок, установки травления и др.				
			
