FINEPLACER sigma - субмикронная монтажная станция с большой рабочей областью
Установка FINEPLACER® sigma – это субмикронная монтажная платформа с большой рабочей областью и широким диапазоном усилий прижима.
Модель FINEPLACER® sigma сочетает в себе высочайшую точность позиционирования в большой рабочей области 450 мм х 150 мм с широким диапазоном усилий прижима (до 1000 Н). Установка идеально подходит для монтажа бескорпусных кристаллов, сборки изделий микроэлектроники по технологии 2,5D и 3D интеграции, сборки МЭМС/МОЭМС, матриц датчиков изображения и др.
Монтажная платформа FINEPLACER® sigma использует инновационную систему оптического позиционирования FPXvisionTM, которая позволяет визуализировать мельчайшие структуры при сильном увеличении по всей области поля зрения. Благодаря своей модульной конфигурации, установка может использоваться практически для неограниченного диапазона технологий монтажа.
Технические параметры*
- Субмикронная точность монтажа компонентов
- Распознавание образов для
программно-контролируемого позиционирования - Большая рабочая область
- Широкий диапазон поддерживаемых размеров компонентов
- Синхронизованный контроль всех параметров процесса
- Модульная конфигурация позволяет дооснащать установку в любое время
- Визуальный контроль процесса в режиме реального времени
- Различные технологии микросборки
- Сохранение всех данных процесса (параметры/видео)
- Широкий диапазон контролируемого усилия прижима
- Установка совместима с другими платформами Finetech
* могут отличаться в зависимости от конфигурации
Применения и поддерживаемые технологии
- Микросборка микроэлектромеханических систем (MEMS/MOEMS)
- Сборка датчиков изображения, ИК сенсоров
- Сборка детекторов рентгеновского
и гамма-излучения, однофотонных детекторов - Монтаж лазерных диодов и лазерных линеек
- Сборка лазерных модулей высокой мощности
- Сборка
вертикально-излучающих лазеров (VCSEL) - Микросборка СВЧ модулей
- Оптический монтаж (модули TOSA/ROSA)
- Адгезионный монтаж
- Эвтектическая пайка
- Спекание
- Термокомпрессия
- Термо- и ультразвуковой монтаж
- Вакуумная пайка кристаллов
Флип-чип монтаж- Технология «кристалл на стекле» (CоG)
- 2,5D и 3D микросборки
- Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на гибкой плате» (CoF)
- Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на плате» (CoB)
- Сборка по технологии «пластина к пластине (W2W)
- Сборка по технологии «кристалл к пластине (C2W)
Конфигурация монтажной станции FINEPLACER® sigma включает в себя базовые модули, процессные модули и функциональные дополнения.
Базовые модули монтажной станции FINEPLACER® sigma
|
Система оптического позиционирования FPXvisionTM |
Для быстрого ил легкого выравнивания положения компонента относительно подложки перед установкой с высокой точностью |
|
Распознавание образов |
Программный инструмент для автоматического распознавания меток совмещения |
|
Лазерный целеуказатель |
Помогает нацелить оптику на рабочей области подложки |
Процессные модули монтажной станции FINEPLACER® sigma
|
Модуль прижима (автоматический) |
|
|
Модуль верхнего нагрева (нагрев инструмента) |
Нагрев специализированного инструмента с компонентом. Позволяет нагревать сборку сверху в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, монтаж с применением анизотропных проводящих адгезивов и др. |
|
Модуль штемпелевания/окунания |
Ручной или моторизованный модуль для нанесения адгезивов или флюса методом штемпелевания или окунания. Подходит для различных типов компонентов |
|
Модуль нагрева пластин |
Специализированный нагревательный столик для работы с большими пластинами. Обеспечивает однородное распределение температуры по всей поверхности при сборке по технологии «пластина к пластине» или «кристалл к пластине» (W2W, C2W) |
|
Модуль дозатора |
Встроенный модуль дозатора для нанесения адгезивов, паяльных паст, флюсов или других материалов. Возможны различные типы дозаторов: пневматический, объемный, струйный |
|
Модуль подачи паров муравьиной кислоты |
Позволяет подавать пары муравьиной кислоты (CH2O2) в область пайки, предотвращая окисление материала припоя (например, индия). Является дополнением к нагревательному столику |
|
Модуль нижнего нагрева (нагревательный столик) |
Нагреваемый столик с фиксатором подложки. Размеры, форма столика, тип фиксатора могут быть различны. Используется в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, термозвуковой монтаж и др. |
|
Модуль подачи рабочего газа |
Рабочая камера и шланги для подачи инертного газа или |
|
Ультразвуковой модуль |
Специализированный модуль для ультра- и термозвукового монтажа компонентов.
Передает ультразвуковые колебания в контактную область |
|
Модуль ультрафиолетового отверждения адгезивов |
УФ подсветка для отверждения специализированных адгезивов без нагрева |
|
Вакуумная камера |
Встроенная вакуумная камера для рабочего столика. Позволяет снизить вероятность образования пустот в процессе пайки |
Функциональные дополнения монтажной станции FINEPLACER® sigma
|
Модуль захвата кристаллов с пластины на липком носителе |
Позволяет захватывать кристаллы с пластины на пленочном носителе |
|
Подача компонентов |
Предметные столики для размещения |
|
Модуль переворачивания компонентов |
Аккуратный переворот компонентов для |
|
Тестер |
Зондирование/тестирование компонентов перед процессом микромонтажа |
|
Моторизованный ход рабочего столика по оси Z |
Рабочий столик с возможностью автоматического позиционирования по оси Z и ручной регулировкой по осям Х, Y с помощью микрометрических винтов |
|
Видеомодуль |
Визуальный контроль процесса монтажа в режиме реального времени (вид сбоку). |
|
Держатель подложки |
Ненагреваемый подложкодержатель с специализированными фиксаторами (механическими или вакуумными) для размещения подложки |
|
Смена инструмента |
Возможность смены различных инструментов или наконечников в процессе монтажа |
|
Сканер высоты (автофокус) |
Автоматическая фокусировка и измерение высоты в процессе монтажа |
