Современные решения для производства электроники

FINEPLACER femto 2 - автоматическая субмикронная монтажная станция

Установка FINEPLACER® femto 2 – это полностью автоматическая монтажная платформа для микромонтажа кристаллов с точностью 0,3 мкм и выше.

Модель FINEPLACER® femto 2 сочетает в себе уникальную гибкость и высочайшую точность, может использоваться как для прототипирования, так и для производства электронных изделий. Защитный корпус установки позволяет проводить технологические процессы в полностью контролируемой среде, защищенной от негативного воздействия окружающих факторов. Это гарантирует высокую стабильность и повторяемость процессов, большой процент выхода годных изделий.

Новая монтажная платформа FINEPLACER® femto 2 использует инновационную систему оптического позиционирования FPXvisionTM, которая в сочетании с усовершенствованной функцией распознавания образов выводит систему визуального совмещения на качественно новый уровень. Обновленное программное обеспечение обеспечивает последовательное и четко структурированное развитие технологических процессов. Модульная конфигурация установки FINEPLACER® femto 2 позволяет в любое время индивидуально настроить и дооснастить установку для поддержки различных технологий микросборки.

Монтажная платформа FINEPLACER® femto 2 — идеальный инструмент для разработки и производства изделий. Установка позволяет проводить инспекцию, упаковку, окончательное испытание и аттестацию полупроводниковых изделий: сенсоров, модулей связи, медицинских приборов и др.

Технические параметры*

  • Субмикронная точность монтажа при работе как с большими, так и с маленькими подложками
  • Широкий диапазон контролируемого усилия прижима
  • Возможность работы с несколькими кристаллами различных размеров
  • Различные технологии монтажа
  • Безопасный и контролируемый процесс в чистых условиях
  • Модульная конфигурация позволяет дооснащать установку в любое время
  • Ультранизкие усилия прижима
  • Визуальный контроль процесса в режиме реального времени
  • Сохранение всех данных процесса (параметры/видео)
  • Синхронизованный контроль всех параметров процесса
  • Автоматический режим для производства, ручной режим для разработки процесса
  • Автоматическая смена рабочего инструмента
  • Конфигурация установки подбирается в соответствии с техническими требованиями
  • Установка совместима с другими платформами Finetech

* могут отличаться в зависимости от конфигурации

Применения и поддерживаемые технологии

  • Микросборка микроэлектромеханических систем (MEMS/MOEMS)
  • Сборка датчиков изображения, ИК сенсоров
  • Сборка детекторов рентгеновского и гамма-излучения
  • Сборка вертикально-излучающих лазеров (VCSEL), фотодиодов и их матриц
  • Монтаж лазерных диодов и лазерных линеек
  • Оптический монтаж (модули TOSA/ROSA)
  • Микросборка СВЧ модулей
  • Адгезионный монтаж
  • Пайка с применением обычных и эвтектических припоев
  • Спекание
  • Термокомпрессия
  • Термо- и ультразвуковой монтаж
  • Вакуумная пайка кристаллов
  • Лазерная пайка кристаллов
  • Флип-чип монтаж
  • Технология «кристалл на стекле» (CоG)
  • 2,5D и 3D микросборки
  • Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на гибкой плате» (CoF)
  • Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на плате» (CoB)
  • Сборка по технологии «пластина к пластине (W2W)
  • Сборка по технологии «кристалл к пластине (C2W)

Конфигурация монтажной станции FINEPLACER® femto 2 включает в себя базовые модули, процессные модули и функциональные дополнения.

Базовые модули монтажной станции FINEPLACER® femto 2

Система оптического позиционирования FPXvisionTM

Для быстрого ил легкого выравнивания положения компонента относительно подложки перед установкой с высокой точностью

Распознавание образов

Программный инструмент для автоматического распознавания меток совмещения

Лазерный целеуказатель

Помогает нацелить оптику на рабочей области подложки

Процессные модули монтажной станции FINEPLACER® femto 2

Модуль прижима

Программно-контролируемое усилие прижима в процессе монтажа

Модуль верхнего нагрева (нагрев инструмента)

Нагрев специализированного инструмента с компонентом. Позволяет нагревать сборку сверху в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, монтаж с применением анизотропных проводящих адгезивов и др.

Модуль «притирки»

Позволяет улучшить смачиваемость соединяемых поверхностей, снижает количество пустот, механически «счищает» оксидные слои за счет низкочастотных колебаний инструмента в ходе процесса

Модуль нагрева пластин

Специализированный нагревательный столик для работы с большими пластинами. Обеспечивает однородное распределение температуры по всей поверхности при сборке по технологии «пластина к пластине» или «кристалл к пластине» (W2W, C2W)

Модуль дозатора

Встроенный модуль дозатора для нанесения адгезивов, паяльных паст, флюсов или других материалов. Возможны различные типы дозаторов: пневматический, объемный, струйный

Модуль подачи паров муравьиной кислоты

Позволяет подавать пары муравьиной кислоты (CH2O2) в область пайки, предотвращая окисление материала припоя (например, индия). Является дополнением к нагревательному столику

Модуль нижнего нагрева (нагревательный столик)

Нагреваемый столик с фиксатором подложки. Размеры, форма столика, тип фиксатора могут быть различны. Используется в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, термозвуковой монтаж и др.

Модуль подачи рабочего газа

Рабочая камера и шланги для подачи инертного газа или форминг-газа в область пайки. Рабочий газ предотвращает окисление материала припоя в процессе пайки

Модуль лазерного нагрева

Ультрабыстрый нагрев для пайки с помощью мощного лазера

Ультразвуковой модуль

Специализированный модуль для ультра- и термозвукового монтажа компонентов. Передает ультразвуковые колебания в контактную область компонент-подложка, позволяет достичь размягчения и прочного соединения контактного материала при более низких температурах

Модуль ультрафиолетового отверждения адгезивов

УФ подсветка для отверждения специализированных адгезивов без нагрева

Вакуумная камера

Встроенная вакуумная камера для рабочего столика. Позволяет снизить вероятность образования пустот в процессе пайки

Функциональные дополнения монтажной станции FINEPLACER® femto 2

Модуль захвата кристаллов с пластины на липком носителе

Позволяет захватывать кристаллы с пластины на пленочном носителе

Подача компонентов

Предметные столики для размещения лотков-держателей компонентов. Могут быть с вакуумным фиксатором. Возможна подача компонентов на ленточном носителе

Модуль переворачивания компонентов

Аккуратный переворот компонентов для флип-чип монтажа

Тестер флип-чип компонентов

Зондирование/тестирование компонентов перед процессом микромонтажа

Видеомодуль

Визуальный контроль процесса монтажа в режиме реального времени (вид сбоку).

Держатель подложки

Ненагреваемый подложкодержатель с специализированными фиксаторами (механическими или вакуумными) для размещения подложки

Автоматическая смена инструмента

Автоматическая смена различных инструментов или наконечников в процессе монтажа

Модуль подачи подложек

Подача и вращение подложек в диапазоне до 360 ° независимо от рабочего инструмента 

Сканер высоты (автофокус)

Автоматическая фокусировка и измерение высоты в процессе монтажа

Сканер высоты (лазерный)

Позволяет измерять высоты методом лазерной триангуляции


Видео FINEPLACER femto 2
FINEPLACER femto 2 – сборка датчиков
FINEPLACER femto 2 – переворот кристаллов
FINEPLACER femto 2 – автоматическая субмикронная монтажная установка
Немецкая компания Finetech предлагает оборудование для микросборки и ремонта

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Микромонтаж