СТ3000/СТ6000 - установки дисковой резки серии
Установки серии СТ3000/СТ6000 предназначены для разделения на кристаллы полупроводниковых пластин и подложек из различных материалов (Si, SiC, GaAr, GaN, керамика, кварц, стекло).
Установки обеспечивают автоматическое совмещение с помощью системы машинного зрения, автоматическую резку, контроль состояния режущего диска.
Особенности установок дисковой резки серии СТ3000/СТ6000:
- Визуальный контроль состояния режущего диска и ширины разреза
- Управление через сенсорный экран; интуитивно понятный интерфейс
- Высокая надежность и эффективность разреза
- Эргономичный дизайн для удобства оператора
- Автоматическое совмещение, разрез и функция контроля ширины реза
- Встроенная функция обнаружения поломки режущего диска и датчик износа диска
Технические характеристики установок дисковой резки серии СТ3000/СТ6000:
|
Модель |
СТ3000 |
СТ6000 |
|
Максимальный размер пластин/подложек |
Ø 6”, 160 х 160 мм |
Ø 8”, 180 х 180 мм |
|
Скорость вращения шпинделя |
До 50000 об/мин |
До 60000 об/мин |
|
Мощность шпинделя |
1,5; 1,8; 2,4 кВт |
|
|
Макс. диаметр диска |
58 мм |
|
|
Глубина реза |
≤5 мм |
|
|
Диапазон перемещения по оси Х |
165 мм |
205 мм |
|
Скорость перемещения по оси Х |
0,1‐500 мм/с |
|
|
Диапазон перемещения по оси Y |
165 мм |
205 мм |
|
Разрешение по оси Y |
0,0001 мм |
|
|
Точность позиционирования по оси Y |
0,003 мм/165 мм |
0,003 мм/205 мм |
|
Диапазон перемещения по оси Z |
30 мм |
|
|
Разрешение по оси Z |
0,0002 мм |
|
|
Диапазон вращения по оси Theta |
380° |
|
|
Разрешение по оси Theta |
0,0018° |
|
|
Габаритные размеры (ШхГхВ) |
600х970х1600 мм |
760х1000х1600 мм |
|
Вес |
600 кг |
650 кг |
