АТ410/АТ610 - настольная установка атомно-слоевого осаждения
Настольные системы
Преимущества моделей АТ410/АТ610:
- Подходит для образцов диаметром 100 мм (модель АТ410) и для образцов с размерами до 150х150 мм (модель АТ610)
- Нагрев до 315ºС +- 1 ºС (модель АТ410) и до 300ºС +- 1 ºС ( модель АТ610)
- Давление в камере: от 0.1 до 1 торр
- Металлические уплотнители
- Компактный дизайн, подходит для применения в чистых помещениях
- Малое время цикла: до 6 циклов/мин или осаждение пленки Al2O3 0,7 нм/мин
- Подходит для небольших объемов прекурсора
- В системе реализованы различные блокировки для безопасности оператора
Компактные настольные системы атомно-слоевого осаждения