ABM/8/500/NUV/DCCD/M - ручная система совмещения по лицевой стороне большой площади (8”)
Основные технические характеристики:
Размер области однородного излучения: 8”
Однородность пучка:
< ±1% в пределах области 4” (квадрат)
< ±2% в пределах области 6” (квадрат)
< ±3% в пределах области 8” (квадрат)
Разрешающая способность:
< 0.5 микрон для вакуумного и жёсткого контакта
(экспонирование в ближнем УФ)
< 0.8 микрон для мягкого контакта
< 1 микрон для зазора 50 микрон
< 2 микрона для зазора 100 микрон
Точность совмещения: +/- 0.5 микрон
Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина
фоторезиста
Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
Управляющий источник питания с постоянной интенсивностью и мощностью
Источник света для ближнего УФ, 500 Вт, 8” (с широкополосным зеркалами
365/400/436 нм)
365 нм: выходная интенсивность – 18−20 мВт/см2
400 нм: выходная интенсивность – 35−40 мВт/см2
436 нм: выходная интенсивность – 8−10 мВт/см2
8” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
Ближний и дальний диапазон УФ излучения
Работа с 2”- 8”, круглыми и квадратными подложками
Сдвоенная
Возможность расширения до двухсторонней системы экспонирования (опция).