Современные решения для производства электроники

nanoMETRONOM AFM

Атомно-силовой микроскоп nanoMETRONOM AFM позволяет локально визуализировать свойства материалов, такие как топология, сила трения, электростатическое взаимодействие, электропроводимость, магнетизм и др. Изображение выбранной области формируется с помощью взаимодействия между зондом и образцом. Микроскоп можно использовать для измерения критических размерных параметров структур оксида кремния, поверхностного анализа полимерных солнечных ячеек, профилометрических измерений кремниевых образцов, инспектирования МЭМС пластин, изображения структур, полученных после наноимпринтной литографии, и многих других задач. Более подробная информация о применениях – в каталоге.

Для получения изображения атомно-силовой микроскоп обычно измеряет вертикальные и латеральные отклонения зонда, используя оптическую систему контроля отклонения. Атомно-силовые микроскопы компании nano analytik GmgH (Германия) разработанные совместно с японской компанией SEIWA Optics, используют инновационную термомеханическую и пьезорезистивную систему контроля отклонения для быстрого бесконтактного отображения. Кантилеверы SmartActiveProbe с системой контроля такого типа предпочтительнее для большинства применений.

Особенности и преимущества серии nanoMETRONOM AFM:

  • Модульная система, включающая в себя позиционирующий стол, рабочую камеру, систему гашения вибраций, кантилевер SmartActiveProbe
  • Высокая скорость отображения в вакууме, воздухе и жидкости
  • Быстрая и удобная замена кантилевера
  • Адаптация под требования заказчика

Технические характеристики атомно-силового микроскопа nanoMETRONOM AFM:

Функции

Рабочий режим

АС/DC

Отображение топографии

+

Отображение амплитуды/фазы

+

Построение графика силы

+

Сближение образца и зонда

Автоматическое

Настройка зонда

Автоматическая

Принцип работы

Пьезорезистивный

Диапазон сканирования

Сканнер Pales *: 20 х 20 х 5 мкм

Сканнер Adeona: 15 х 15 х 4 мкм

Скорость колебаний наконечника

по осям X,Y: 5 мм/с

по оси Z: 11.67мм/с

Частота сканирования

0.01 ~ 100 Гц

Мин. измеряемое смещение

140 пм

Управление с обратной связью

В режиме реального времени, FPGA

Одновременные снимки

Фазовый, частотный, амплитудный, топографический

Размеры образцов

До 100 мм (в стандартной конфигурации)

Опциональные функции

MFM, EFM, PFM, C-AFM, SThM

Конфигурации микроскопа

Модель

nanoMETRONOM-HS

nanoMETRONOM-PJ

nanoMETRONOM-S2

Диапазон сканирования

20 х 20 х 5 мкм

30 х 30 х 10 мкм

10 х 10 х 10 мкм

Частота сканирования

От 0,01 до > 200 Гц

От 0,1 до 40 Гц

От 0,1 до > 20 Гц

Атомно-силовая микроскопия

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Атомно-силовая микроскопия