Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300 предлагает непревзойденное качество процесса АСО, высокую производительность и уникальный принцип модульности с полностью стандартизированными автоматизированными решениями для производств в больших объемах.
Система состоит из процессных модулей, размещенных вокруг центрального вакуумного роботизированного блока Brooks Marathon 2, и загрузочной станции с несколькими блоками типа Front Opening Unified Pod (FOUP). Данная станция предназначена для автоматизированного переноса пластин между отдельными блоками FOUP и модулями кластерного инструмента без развакуумирования. Система может быть дополнена в любое время путем интеграции с модулями, в которых осуществляются другие технологические процессы, а также предварительная и пост-обработка.
Области использования: оксиды, нитриды и металлы для производства интегральных схем:
оксидные плёнки разделителей
стэковые оксидные пленки диэлектриков (InterPoly Dielectric, IPD)
туннелирующие плёнки оксидов
блокирующие плёнки оксидов
пассивирующие плёнки
плёнки, заполняющие зазоры
герметизирующие слои
барьерные плёнки меди и затравочные слои