Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300 предлагает непревзойденное качество процесса АСО, высокую производительность и уникальный принцип модульности с полностью стандартизированными автоматизированными решениями для производств в больших объемах.

Система состоит из процессных модулей, размещенных вокруг центрального вакуумного роботизированного блока Brooks Marathon 2, и загрузочной станции с несколькими блоками типа Front Opening Unified Pod (FOUP). Данная станция предназначена для автоматизированного переноса пластин между отдельными блоками FOUP и модулями кластерного инструмента без развакуумирования. Система может быть дополнена в любое время путем интеграции с модулями, в которых осуществляются другие технологические процессы, а также предварительная и пост-обработка.

Области использования: оксиды, нитриды и металлы для производства интегральных схем:

— оксидные плёнки разделителей
— стэковые оксидные пленки диэлектриков (InterPoly Dielectric, IPD)
— туннелирующие плёнки оксидов
— блокирующие плёнки оксидов
— пассивирующие плёнки
— плёнки, заполняющие зазоры
— герметизирующие слои
— барьерные плёнки меди и затравочные слои