GIGAbatch 360 P / 380 P - установки плазменного травления фоторезиста
Установки плазменного травления GIGAbatch 360 Р / 380 Р – это высокопроизводительные модели для удаления фоторезиста после высокодозной ионной имплантации или сухого травления в производстве полупроводниковых приборов. Подходят для пластин различных материалов, таких как кремний, соединения III/V, кварц, керамика, ниобат лития и др. Модели 360 Р/ 380 Р опционально оснащаются моторизованным загрузочным шлюзом для автоматической подачи подложек в рабочую камеру. Соответствуют условиям чистых помещений для полупроводникового производства.
Микроволновая плазма обеспечивает высокую концентрацию химически активных частиц с низкой энергией ионной бомбардировки, что гарантирует высокую скорость травления и отсутствие повреждений.
Контроль процесса производится в режиме реального времени, с отображением графиков рисунков на экране; производится запись и экспорт данных о процессе. Для управления системой служат ПК контроллер и цветной монитор 10.4”; операционная система реального времени QNX. В системе имеется функция запоминания процессов (1−10 шагов каждый), сообщения об ошибках и системные предупреждения, пользовательский пароль.
Технические характеристики:
|
Модель |
360 Р |
380 Р |
|
Размеры пластин |
До 150 мм |
До 200 мм |
|
Производительность |
150 пластин/час |
|
|
Вместимость камеры |
75 пластин |
|
|
Загрузка пластин |
Ручная, опционально автоматическая |
|
|
Материал рабочей камеры |
Кварц |
|
|
Размеры камеры (Диаметр х Глубина) |
245 х 395 мм |
300 х 395 мм |
|
Объем |
18 л |
28 л |
|
Частота плазменного источника |
2.45 ГГц |
|
|
Мощность плазменного источника |
До 1000 Вт |
|
|
Подача рабочего газа |
2 газовые линии (опционально до 4−х) |
|
|
Вакуумный датчик |
Емкостной манометр MKS Baratron |
|
|
Контроль температуры |
ИК-сенсор |
|
|
Детектор конечной точки |
Оптический |
|
|
Управление |
ПК с монитором 10,4”; Контроль параметров в режиме реального времени; отображение графиков; запись и хранение рецептов; экспорт данных; сообщения об ошибках и предупреждения |
|
|
Системные оповещения |
Световая колонна (три цвета), звук |
|
|
Опции |
Вакуумный насос; опция подачи водорода; блок автоматической загрузки пластин/подложек; дополнительные газовые линии |
|
|
Габаритные размеры (Д х В х Ш) |
795 х 1540 х 710 мм |
|
|
Вес |
190 кг |
|
