GIGAbatch 310 M - установка плазменного травления фоторезиста
Установка GIGAbatch 310M – это компактная настольная модель для удаления фоторезиста после высокодозной ионной имплантации или сухого травления в производстве полупроводниковых приборов. Подходит для пластин различных материалов, таких как кремний, соединения III/V, кварц, керамика, ниобат лития и др. Опционально оснащается специализированными манипуляторами для перемещения подложконосителей (кварцевых лодочек). Имеет шлюз ручной загрузки пластин в рабочую камеру.
Микроволновая плазма обеспечивает высокую концентрацию химически активных частиц с низкой энергией ионной бомбардировки, что гарантирует высокую скорость травления и отсутствие повреждений.
- Одиночная и кассетная загрузка
- Удаление фоторезиста без повреждений структуры на подложке
- Идеальное решение для небольших производств и лабораторных исследований
Контроль процесса производится в режиме реального времени, с отображением графиков рисунков на экране; производится запись и экспорт данных о процессе. Для управления системой служат ПК контроллер и цветной монитор 10.4”; операционная система реального времени QNX. В системе имеется функция запоминания процессов (1−10 шагов каждый), сообщения об ошибках и системные предупреждения, пользовательский пароль.
Технические характеристики:
|
Размеры пластин |
До 150 мм |
|
|
Производительность |
25 шт. (для пластин 150 мм) 50 шт. (для пластин 100 мм) |
|
|
Загрузка пластин |
Ручная |
|
|
Материал рабочей камеры |
Кварц |
|
|
Размеры камеры |
245 мм (диаметр) х 395 мм (глубина) |
|
|
Объем камеры |
18 л |
|
|
Плазменный источник |
Частота |
2.45 ГГц |
|
|
Максимальная мощность |
600 Вт |
|
Подача рабочего газа |
1 газовая линия (опционально до 2−х) |
|
|
Вакуумный датчик |
Емкостной манометр MKS Baratron |
|
|
Управление |
ПК с монитором 10,4”; Контроль параметров в режиме реального времени; отображение графиков; запись и хранение рецептов; экспорт данных; сообщения об ошибках и предупреждения |
|
|
Опции |
Масляный роторный пластинчатый насос или сухой насос;
комплект для удаления фоторезиста |
|
|
Габаритные размеры (Д х В х Ш) |
795 х 650 х 710 мм |
|
|
Вес |
150 кг |
|
