SGM-7000А - Установка шлифовки и полировки полупроводниковых пластин
Модель предназначена для шлифовки пластин различных материалов:
кремний, сапфир, GaN, GaAs, SiC, AlN, кварц и др. Модель подходит для обработки
как твердых, так и хрупких материалов, позволяет снизить длительность процесса
полировки, минимизировать сколы и повреждения. Имеет вертикальное расположение
пластин.
Преимущества модели SGM-7000A:
- Подходит для хрупких материалов и тонких пластин
- Минимизация напряжений при обработке пластин за счет движения алмазных дисков вперед и назад
- Автоматическое измерение толщины материала
- Непрерывный или интервальный процесс
- Датчик перегрузки системы
Технические характеристики модели SGM-7000A:
|
Макс. рабочая область |
200 мм |
|
Количество обрабатываемых пластин в зависимости от их диаметра |
Ø2” ×5, Ø 3” ×3, Ø 4” 3, Ø 4” ×1, Ø 6” ×1 |
|
Частота вращения шлифовального диска |
2200 об/мин |
|
Частота вращения шпинделя |
400 об/мин |
|
Макс. ход перемещения пластины |
80 мм |
|
Максимальный ход шпинделя со шлифовальным кругом |
25 мм |
|
Объем емкости охладителя |
55 л |
|
Вес |
500 кг |
|
Энергопотребление |
1100 Вт |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ) |
1300 х 590 х 1550 мм |
