Titan - система плазменной очистки
Titan — установка плазменной c большим объёмом камеры. Предназначена для применения в крупносерийном производстве изделий электроники.
Отличительные особенности модели:
— Рабочая камера: 95 л.
— Загрузка: 6 магазинов
— Генератор плазмы: 13,56 МГц, 600 Вт
— Количество газовых линий: 2 шт.
— Улучшенная система распределения рабочего газа внутри камеры для достижения
высокой однородности плазменной обработки.
Технические характеристики:
|
Размеры загрузочного лотка |
88 х 250 х 165 (В) мм |
|
Размеры рабочей камеры |
563 х 366 х 461 (В) мм; 95 л |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная, 6 заземленных полок для размещения 6−ти лотков |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13,56 МГц, 600 Вт |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,001 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
2 шт, цифровые контроллеры массового расхода газа |
|
Макс. давление рабочего газа |
1,5 бар |
|
Вакуумный насос |
Масляный насос, 40 м3/час; сухой насос 250 л/сек |
|
Управление |
ПК, сенсорный экран 17 ” |
|
Электропитание |
3 фазы, 208 — 415 В, 50/60 Гц, 5,5 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
793 х 1033 х 2157 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
500 кг |
