Philo - система плазменной очистки
Philo — установка плазменной обработки с небольшой загрузкой, рассчитанная на непрерывную работу в круглосуточном режиме.
Отличительные особенности модели:
— Объём камеры: 8 л;
— Автоматический загрузочный шлюз;
— 2 газовые линии.
|
Размеры загрузочного лотка |
350 х 350 х 30 (В) мм |
|
Размеры рабочей камеры |
400 х 400 х 50 (В) мм; 8 л |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13,56 МГц, 300 Вт (600 Вт — опционально) |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,001 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
2 шт, линия продувки азотом — опционально |
|
Макс. давление рабочего газа |
1,5 бар |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос, 15 м3/час |
|
Управление |
ПЛК, сенсорный экран 7,5 ” |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 2,5 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
565 х 1143 х 1183 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
300 кг |
