Juno - система плазменной очистки
Juno — установка плазменной обработки со средним объёмом камеры, подходит как для применения в лабораторных условиях, так и в серийном производстве. Может использоваться для плазменного травления фоторезиста.
Отличительные особенности модели:
— Рабочая камера: 91 л.
— Генератор плазмы: 13,56 МГц, 600 Вт
— Количество газовых линий: 2 шт.
— Рабочие газы — Ar, O2, Ar/O2, Ar/H2,
N2/H2
— Количество лотков в рабочей камере: 6 шт.
— Встроенный сухой насос
— Предназначена для применения в мало- и среднесерийном производстве изделий
электроники
— Помимо очистки и активации поверхности при микросборке, также может
применяться для удаления фоторезиста на полупроводниковых пластинах и
подложках.
Технические характеристики:
|
Размеры рабочей камеры |
450 х 450 х 450 (В) мм, 91 л. |
|
Конфигурация |
4 лотка с заземлением, 4 лотка под напряжением |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13,56 МГц, 600 Вт |
|
Материал электродной системы |
Алюминий/нержавеющая сталь |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
0,1 — 1 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2/H2 (95/5 %), Ar/O2, Ar/H2 (95/5 %), другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
2 шт, макс. расход газа 0,2 л/мин, линия продувки азотом — 1 шт |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос, расположен внутри корпуса |
|
Управление |
ПК, сенсорный экран 15 ” |
|
Производительность |
3 — 4 цикла/час |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 2.5 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
893 х 950 х 1601 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
300 кг |
