Современные решения для производства электроники

Juno - система плазменной очистки

Juno

Juno — установка плазменной обработки со средним объёмом камеры, подходит как для применения в лабораторных условиях, так и в серийном производстве. Может использоваться для плазменного травления фоторезиста.

Отличительные особенности модели:

— Рабочая камера: 91 л.
— Генератор плазмы: 13,56 МГц, 600 Вт
— Количество газовых линий: 2 шт.
— Рабочие газы — Ar, O2, Ar/O2, Ar/H2, N2/H2
— Количество лотков в рабочей камере: 6 шт.
— Встроенный сухой насос
— Предназначена для применения в мало- и среднесерийном производстве изделий электроники
— Помимо очистки и активации поверхности при микросборке, также может применяться для удаления фоторезиста на полупроводниковых пластинах и подложках.

Технические характеристики:

Размеры рабочей камеры

450  х 450  х 450  (В) мм, 91 л.

Конфигурация

4 лотка с заземлением, 4 лотка под напряжением

Частота, мощность генератора плазмы

13,56 МГц, 600 Вт

Материал электродной системы

Алюминий/нержавеющая сталь

Конфигурация электродной системы

Планарная

Рабочий диапазон датчика давления

0,1 — 1 мбар

Возможные рабочие газы

Ar, O2, N2/H2 (95/5  %), Ar/O2, Ar/H2 (95/5  %),

другие рабочие газы — по требованию Заказчика

Количество газовых линий

2 шт, макс. расход газа 0,2 л/мин, линия продувки азотом — 1 шт

Вакуумный насос

Сухой насос, расположен внутри корпуса

Управление

ПК, сенсорный  экран 15 ”

Производительность

3 — 4 цикла/час

Электропитание

100 — 240 В, 50/60 Гц, 2.5  кВ*А

Требуемые подключения

Сжатый воздух 4−6 бар

Габариты

893 х 950 х 1601 мм (Д х Г х В)

Вес

300 кг

Компания SCI Automation – это один из ведущих мировых производителей оборудования для плазменной очистки и обработки поверхностей.

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Плазменная обработка