IoN40 - Система плазменной обработки
Система плазменной обработки IoN40 представляет собой одну из последних разработок компании PVA TeРla. Модель IoN40 оснащена высокочастотным плазменным источником, улучшенной системой контроля процесса, звуковым оповещением для предотвращения ошибок в работе системы, имеет компактный дизайн для настольного применения.
Система плазменной обработки IoN40 идеально подходит для лабораторного применения или производства.
Достоинства модели IoN40:
- Перенастраиваемая камера может быть приспособлена для различных конфигураций электрода для обработки сложных трехмерных образцов средних размеров или для обработки большого количества образцов малых размеров
- Удобный графический интерфейс пользователя
- Промышленный компьютер с ОС Windows
- Удаленный статистический контроль процессов через Интернет
- Редактор рецептов для быстрого пошагового контроля функциональности системы
- LCD сенсорный дисплей и клавиатура
- Встроенные методы диагностики, запись сообщений об ошибках
- Высокое качество очистки поверхностей
- Высокая повторяемость
Основные характеристики:
|
Рабочая камера |
Материал |
Алюминий |
|
Объем |
36,5 л |
|
|
Внутренние размеры |
229х330х483 мм |
|
|
Электроды |
Первичная плазма |
Вертикальный электрод |
|
Боковой пристеночный электрод |
||
|
Съемные полки |
||
|
Низкодисперсный электрод |
||
|
Количество полок |
3 или 5 |
|
|
Размер полок |
289х234 мм |
|
|
Плазменный источник
|
Частота |
100 кГц |
|
Мощность |
0−300 Вт |
|
|
Охлаждение |
Воздушное |
|
|
Рабочий газ |
Количество газовых линий |
До 8 шт. |
|
Рабочее давление |
1.6 x 10−4 ÷ 2.7 |
|
|
Время откачки |
Около 1 мин. |
|
|
Продувка |
Регулируемая |
|
|
Требуемые подключения |
Электропитание |
220 В, 1 ф., 50÷60 Гц |
|
Рабочий газ |
1÷2 бар |
|
|
Вентиляция/продувка |
1÷2 бар |
|
|
Сжатый воздух |
5 бар |
|
|
Габаритные размеры (Д х В х Ш) |
775 х 723 х 781 мм |
|
|
Вес |
156.36 кг |
|
Доступные опции для системы IoN40:
- Контроллер давления
- Световая колонна для визуальной передачи системных сообщений
- RF генератор 300 или 600 Вт, 13,56 МГц
- Выбор альтернативного источника газа
- Нержавеющая сталь для MFC контроллера
- Считыватель штрих-кодов
- Моделирующее ПО для редактирования рецептов
- Спектрометрический детектор конечной точки
- Вакуумные насосы (роторный пластинчатый насос / сухой и спиральный)
- Принтер
- Стол
- Система охлаждения (чиллер)
