AEON - система плазменной очистки
AEON – настольная установка плазменной обработки, рекомендуется для применения в лабораторных условиях и мелкосерийном производстве.
Отличительные особенности модели:
— Объём камеры: 35 л;
— Система электродов в виде полок;
— 1 газовая линия в стандартной конфигурации; 2 газовые линии —
опционально.
|
Размеры рабочей камеры |
300 х 390 х 300 (В) мм, 35,1 л |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная, 2 лотка с заземлением, 2 лотка под напряжением |
|
Размеры загрузочных лотков |
268 х 300 мм |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
50 кГц, 500 Вт (13,56 МГц, 300 Вт — опционально) |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,03 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2/H2 (95/5 %), Ar/O2, Ar/H2 (95/5 %), другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
1 шт, (до 2 шт — опционально) |
|
Макс. давление рабочего газа |
1,5 бар |
|
Вакуумный насос |
Масляный насос или сухой насос |
|
Управление |
ПЛК, сенсорный экран 7,5” |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 2,5 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
572 х 916 х 707 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
110 кг |
