IoN 3B и 7B - установки плазменной обработки поверхностей
Установки плазменной обработки IoN 3B, 7B- это компактные модели для очистки и активации поверхностей, предназначенные для мелкосерийного производства и лабораторных применений в микроэлектронике, биомедицинских технологиях и других отраслях. Конфигурация электродной системы позволяет проводить как мягкую плазменную очистку, так и для реактивного ионного травления. Оснащены улучшенной системой контроля параметров процесса (давление, время процесса, расход и смесь газа), имеют звуковые сигналы оповещения, панель диагностики статуса системы.
Основные преимущества моделей:
- Высокая однородность плазмы внутри рабочей камеры
- Превосходное качество и повторяемость процессов
- Компактный дизайн
Технические характеристики:
|
Модель |
IoN 3B |
IoN 7B |
|
Материал рабочей камеры |
Анодированный алюминий |
|
|
Внутренние размеры рабочей камеры (ШхГхВ) |
140х200х110 мм |
200х220х160 мм |
|
Объем рабочей камеры |
3 л |
7 л |
|
Частота плазменного источника |
20 — 100 кГц 13,56 кГц (опционально) |
20 – 100 кГц 13,56 кГц или 13,56 МГц (опционально) |
|
Мощность плазменного источника |
100 Вт 300 Вт (опционально) |
200 Вт 300 или 600 Вт (опционально) |
|
Рабочий газ |
Кислород, аргон и другие газы |
|
|
Количество расходомеров |
1 шт. (стандартно) до 3 шт. (опционально) |
|
|
Продувка рабочей камеры |
Азот, воздух |
|
|
Электропитание |
220 В, 1 ф., 50 В |
|
|
Габаритные размеры (ДхШхВ) |
580х610х350 мм |
650х660х550 мм |
|
Вес |
59 кг |
59 кг |
