QML-EX - встраиваемая установка плазменной обработки

Отличительные особенности модели:
Объём камеры: 4 л;
2 газовые линии;
Конвейер, работающий по протоколу SMEMA 1.2.
Размеры, объем рабочей камеры |
320 х 320 х 40 (В) мм; 4,01 л |
Материал рабочей камеры |
Никелированный алюминий |
Конфигурация электродной системы |
Планарная |
Частота, мощность генератора плазмы |
13, 56 МГц, 300 Вт |
Рабочий диапазон датчика давления |
1 0,001 мбар |
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы по требованию Заказчика |
Количество газовых линий |
2 шт |
Макс. давление рабочего газа |
1,5 бар |
Вакуумный насос |
Сухой насос, 450 л/мин |
Управление |
ПК, сенсорный экран 17 ” |
Электропитание |
100 240 В, 50/60 Гц, 3 кВ*А |
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
Габариты |
480 х 1342 х 1701 мм (Д х Г х В) |
Вес |
300 кг |