DIS8000 - установка оптической инспекции
Установка предназначена для оптической инспекции после дисковой
резки полупроводниковых пластин, позволяет выявлять такие дефекты, как
загрязнения, царапины, наличие частиц кремния, сколы, отслоение, растрескивание
и др. Установка может поставляться в конфигурации с маркировщиком дефектных
кристаллов и/или функцией составления карты годности пластины.
Особенности модели DIS8000:
- Автоматическая загрузка пластин диаметром 8” и 12” с рамкой 12” и 16”
- Загрузочный порт для стандартных кассет с детектром размера кассеты
- Микроскоп высокого разрешения с пятью объективами
- Моторизованный рабочий столик для высокоточного перемещения по осям X,Y,Z
- Надёжная защита от вибраций
- Встроенный считыватель бар-кодов
- Индексация по осям X-Y
- Функции автоматического выравнивания и составления карты пластины
- Коды дефектов определяются пользователем
- Интерфейс ПО: управление технологическими программами, карта пластины, карта кассеты, управление микроскопом
- Чернильный маркер (опция)
Технические характеристики модели DIS8000:
|
Пластины |
|
|
Размер |
8” и 12” |
|
Загрузка |
|
|
Загрузочный порт |
1 шт. |
|
Детекторы |
Определение размера кассеты Определение выступа рамки Составление карты кассеты |
|
Загрузка рамок |
Автоматическое выравнивание |
|
Модуль индексации |
|
|
Перемещение по осям X,Y |
400х310 мм |
|
Точность перемещения и разрешение по осям X,Y |
± 5 мкм, ± 1мкм |
|
Перемещение по оси Z |
12 мм |
|
Точность перемещения и разрешение по оси Z |
± 5 мкм, ± 3,6 мкм |
|
Стандартные аксессуары |
|
|
Микроскоп |
Nikon с 5−ю объективами (2.5х, 5х, 10х, 20х, 50х) |
|
Камера |
5 МП, цветная, регулируемая интенсивность освещения |
|
Мониторы |
15” LCD, 2 шт. |
|
Устройства ввода информации |
Клавиатура, мышь, джойстик |
|
Антивибрационный стол |
4 бар |
|
Дополнительные аксессуары |
|
|
Модуль идентификации бракованных кристаллов |
Чернильный маркер |
|
Инспекция обратной стороны пластины |
5 MP камера с линзами 4х кратного увеличения, Регулируемая интенсивность освещения и программируемая моторизованная фокусировка |
|
Автоматическое выравнивание пластин |
Выравнивание по центру и по углу поворота |
|
Требования по подключениям |
|
|
Электропитание |
220 В, 50/60 Гц, 1 фаза |
|
Сжатый воздух |
4−6 бар |
|
Габариты и вес |
|
|
Ш х Г х В |
1650 х 1100 х 1200 мм |
|
Вес |
667 кг |
