Semishare SC - ручные зондовые станции для низко- и высокотемпературных измерений
Зондовые станции серии SC предназначены для проведения низко- и
высокотемпературных измерений на полупроводниковых пластинах диаметром до 300
мм. Разработаны для применения в лабораториях
Достоинства моделей серии SC:
- Прецизионные винты для линейного безлюфтого перемещения
- Возможна поставка в конфигурации с металлографическим микроскопом
- Измерение ВЧ характеристик (до 300 ГГц)
- Тестирование светодиодов/фотодиодов/лазерных диодов (интенсивность излучения/длина волны)
- Измерение
вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестируемых материалов/изделий
Технические характеристики моделей серии SC:
|
Модель |
SC-6 |
SC-8 |
SC-12 |
|
Размеры |
860х850х700 мм |
880х860х750 мм |
1400х920х920 мм |
|
Вес (приблизит.) |
150 кг |
170 кг |
250 кг |
|
Электропитание |
220 В, 50−60 Гц |
||
|
Размеры держателя пластин |
6”, вращение 360 ° |
8”, вращение 360 ° |
12”, вращение 360 ° |
|
Перемещение по осям Х-Y |
6” х 6” |
8” х 8” |
12” х 12” |
|
Разрешение перемещений |
1 мкм |
||
|
Замена образцов |
Быстрая замена держателя |
||
|
Плита О-формы |
8 |
10 |
12 |
|
Перемещение плиты |
Быстрое перемещение: 6 мм вверх/вниз с автоматической функцией блокировки, прецизионная настройка: 25 мм вверх/вниз с разрешением 1 мкм |
||
|
Диапазон температур |
- |
- |
- |
|
Точность поддержания температуры |
0,01 °С |
||
|
Диапазон перемещений микроскопа |
По осям По оси Z: 50,8 мм |
||
|
Увеличение микроскопа |
16 ~ 100Х/ 20 ~ 4000Х |
||
|
Линзы |
Окуляры: 10Х, Объектив: 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х (опционально) |
||
|
Регулировка зондов |
|
||
|
Механическое разрешение микро-позиционеров |
10 мкм / 2 мкм / 0,7 мкм / 0,1 мкм |
||
|
Ток утечки |
10 пА/100 фА (с экранирующим корпусом) |
||
|
Опции и аксессуары |
Экранирующий корпус Зажим для проб-карт Тестирование при высоких напряжениях и высоких токах СВЧ измерения Измерения при низких токах, bpvthtybt tvrjcnb Микроскоп темного поля/измерение интенсивности и длины волны излучения Антивибрационный стол Позолоченные фиксаторы Фиксаторы для печатных плат, сборок ИС Специализированный дизайн |
||
