CheckMate CM-460 - универсальная полуавтоматическая станция
Полуавтоматическая станция для зондовых измерений с наличием программного
управления позиционированием зондируемой области. Функционал позволяет
проводить измерения
Модели
- СВЧ измерения;
- зондирование малых токов (фА);
- измерения в диапазоне температур до 300˚С;
- разработка/отладка изделий, отбраковка и пр.
Станция рекомендована для детального измерения образцов при мелкосерийном и серийном производстве на предприятиях электронной промышленности и в научно-исследовательских лабораториях.
Основные характеристики модели CM-460:
- Узел держателя пластин размером 150 мм с программируемым перемещением
по осям
X-Y-Z и шагом до 0.1 микрон; - Программное управление перемещением микроскопа
- Цифровое управление температурой держателя пластин
- Широкие возможности программного управления: двухточечное выравнивание пластины по осям координат, возможность ее картографирования, автоматический режим измерений с маркировкой отбракованных изделий и т.д.
- Интеграция с измерительными приборами и системами через интерфейсы DDE и GPIB.
Параметр |
Модель CM-461 |
Модель CM-465 |
Диаметр держателя пластин |
150 мм |
|
Мин. шаг держателя пластин по X/Y/Z |
0,1 мкм |
1мкм по X/Y; 0,1 мкм по Z |
Точность автоматического позиционирования держателя пластин |
1мкм по X/Y; 0.25 мкм по Z |
3мкм по X/Y; 0.25 мкм по Z |
Диапазон подъема рабочей плиты |
44 мм (с фиксацией положения) |
|
Диапазон перемещения микроскопа по X/Y/Z |
50х50 мм (программное) / 100 мм (пневматич.) |
|
Ход держателя пластин между положениями контакт/неконтакт |
4 мм |
|
Количество |
До 4−х |
|
Манипулятор для управления всеми видами перемещения станции |
Поддерживается (по умолчанию используется программное управление) |