Apogee Bonder - установка монтажа пластин на пластину-носитель
Установка Apogee Bonder предназначена для монтажа ультратонких пластин
диаметром
Основные преимущества:
- Прецизионная пневматическая система для контроля усилия
- Манипулятор для загрузки/выгрузки пластин
- Механическое совмещение и выравнивание
- Вакуумная откачка рабочей камеры
- Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени
Технические характеристики:
|
Диаметр пластин |
От 50 до 300 мм |
|
Материал пластин |
SiC, GaN, GaAs, InP, сапфир, кремний, стекло |
|
Диапазон нагрева |
От комнатной до 300 °С (другие значения – по запросу) |
|
Температурная однородность |
Менее 1 % |
|
Диапазон усилий прижима |
3,5 ÷ 12 кН |
|
Шаг настройки усилия |
10 Н |
|
Точность совмещения пластин |
≤ 0,5 мм (зависит от неоднородности пластин по толщине) |
|
Время откачки камеры |
Менее 90 с |
|
Длительность шага в технологическом процессе |
0,1 ÷ 9999,9 с |
|
Производительность |
14 – 20 пластин/час (зависит от процесса) |
|
Программное обеспечение |
Информация о процессе в режиме реального времени, создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов, контроль температуры и влажности, визуализация и экспорт данных, анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального
|
|
Габаритные размеры |
1220 х 788 х 381 мм |
|
Вес |
146 кг |
