Apogee Spin Coater - установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования
Установка нанесения фоторезиста Apogee Spin Coater позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Опционально доступны различные функции, включая промывку обратной стороны пластины, удаление краевого валика, различные способы подачи фоторезиста с использованием автоматического дозирования.
Основные преимущества:
— Компактный дизайн для настольного применения
— Цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя
— Коррозионностойкое исполнение
— Дозирующие насадки для использования 5−ти различных фоторезистов одновременно
— Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени
Технические характеристики:
|
Размеры пластин/подложек |
До 200 мм для круглых подложек; До 178 х 178 мм для квадратных подложек |
|
Скорость вращения центрифуги |
0 ÷ 6000 оборотов в минуту (опционально до 12000 об/мин) |
|
Ускорение вращения |
от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки |
|
Длительность шага в технологическом рецепте |
0,1 ÷ 9999,9 с |
|
Повторяемость и разрешение по скорости |
<0,2 оборотов в минуту |
|
Программное обеспечение
|
Информация о процессе в режиме реального времени, создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов, контроль температуры и влажности, визуализация и экспорт данных, анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального
|
|
Габаритные размеры |
337 х 483 х 305 мм |
|
Вес |
19 кг |
