Siansonic UC - установки ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста
Установки ультразвукового спреевого нанесения
материалов серии UC широко
используются для нанесения тонких пленок и фоторезистивных слоев на пластины и
подложки при производстве изделий микроэлектроники, а также при
производстве солнечных элементов, топливных ячеек, медицинских имплантатов
и других изделий.
Серия UC включает в себя несколько моделей с различной рабочей областью, каждая из которых использует запатентованную технологию ультразвукового спреевого нанесения материалов с высочайшей однородностью.
Преимущества моделей серии UC:
- Однородность наносимого материала: более 95%
- Прецизионный шприцевой насос для непрерывного нанесения
- Встроенная вытяжка
- Цифровой ультразвуковой генератор с шагом контроля мощности 0,01 Вт
- Лазерный указатель для позиционирования насадки
- Подходит для нанесения фоторезистов и других материалов вязкостью до 30 сПз
Технические характеристики моделей серии UC:
|
Модель |
UC320 |
UC330 |
UC340 |
|
Спреевая насадка |
Размер частиц: 10 — 40 мкм; ширина наносимого слоя: до 100 мм; скорость нанесения: до 50 мл/мин |
||
|
Рабочая область |
Сервопривод по осям XYZ, макс. область 150х150 мм |
Сервопривод по осям XYZ, макс. область 300х300 мм |
Сервопривод по осям XYZ, макс. область 400х400 мм |
|
Нагревательный столик |
Температура нагрева до 150 °С (доступен опционально) |
||
|
Ультразвуковая ванна |
Ультразвуковая ванна для предварительной дисперсии суспензий (опционально) |
||
|
Управление |
ПЛК с сенсорным экраном |
||
|
Размеры |
830х690х950 мм |
1110х850х970 мм |
1300х1030х1020 мм |
|
Вес |
100 кг |
100 кг |
220 кг |
