Формирование микрорельефа методом лазерной литографии
Научный интерес к электронным изделиям нано- и субмикронного масштаба растет с каждым годом. Традиционный метод получения рельефа на подложках сочетает в себе применение фотошаблонов и однородного освещения для селективной активации фоторезистов. Применение фотошаблонов позволяет быстро получать необходимый рисунок на подложках, однако, внести изменения в рисунок невозможно без замены фотошаблона. Кроме того, сохраняющиеся тенденции к миниатюризации изделий требуют использования фотошаблонов со структурами микронных размеров, которые крайне трудно совмещать с микроструктурами на подложках.
Рис.1 Токоведущие дорожки микронного размера
Поэтому для создания микрорельефа удобно использовать технологию прямой лазерной литографии без фотошаблона. В этом случае рисунок в слое фоторезиста формируется с помощью точного лазерного воздействия. А размеры формируемых структур зависят от размеров лазерного луча и точности его позиционирования.
Однако, оборудование для лазерной литографии, как правило, дорогостоящее и
имеет большие габаритные размеры. А необходимость длительного программирования
установки перед использованием делает оборудование такого рода неприемлемым для
применения
Установка лазерной литографии miDALIX DaLI разработана
специально для
Рис.2 Пример рисунка, сформированного с помощью установки лазерной литографии DaLI
Установка DaLI может использоваться в двух режимах сканирования: точный режим подходит для формирования структур микронных размеров, грубый режим – для структур с размерами несколько сотен микрометров. Сочетание двух режимов позволяет оптимизировать процесс, минимизируя общее время процесса.
Программное обеспечение DaLI позволяет настраивать растровую плотность
структуры, размер лазерного пятна, дозу освещения и различные другие параметры.
При этом лазерный луч в системе DaLI перемещается чрезвычайно точно, благодаря
управлению с помощью акустооптических дефлекторов (AOD). В отличие от других
популярных устройств управления лучом, например
Формирование мелких структур требует сфокусированного лазерного луча для достижения нужного разрешения. Лазерная установка miDALIX DaLI имеет автоматически изменяемый размер лазерного пятна для ускорения процесса сканирования, быстрое переключение с точного инструмента на грубый за считанные секунды. При увеличении размера лазерного пятна скорость сканирования увеличивается, в результате чего общее время сканирования сокращается.
Рис.3 Настольная установка лазерной литографии DaLI
Система MiDALIX DaLI может использоваться для формирования микрорельефа золотых электродов на кремниевой подложке с использованием прямой лазерной литографии без маски. Этот техпроцесс является всего лишь одним из возможных применений системы DaLI, которая также отлично подходит для изготовления микрожидкостных схем, фотошаблонов, микрооптики и других задач.
По вопросам стоимости системы лазерной литографии MiDALIX DaLI обращайтесь, пожалуйста, к специалистам компании Евроинтех.