NANO 321 - полуавтоматическая установка дисковой резки

Полуавтоматическая установка NANO 321 предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек различных материалов.  Оснащена двойным микроскопом с различным увеличением, кольцевой подсветкой для максимально контрастной визуализации реперных меток,  прочным шпинделем с низким уровнем вибраций, заслонками для защиты линз от загрязнения.

Программное обеспечение установки позволяет контролировать состояние режущего диска и задавать глубину реза (высоту шпинделя) в зависимости от степени его стачивания, автоматически совмещать и выравнивать режущий диск относительно линии реза,  корректировать ошибку совмещения, сохранять в памяти все параметры и результаты процесса, отслеживать потребление воды и воздуха, выводить на экран предупреждения об ошибках в случае ненормального состояния системы в режиме реального времени. Модель NANO 321 обеспечивает  высокую стабильность и повторяемость от процесса к процессу.

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек		Круглые Ø 12”, квадратные 320х320 мм
Шпиндель	Макс. мощность	1,8 кВт	2,2 кВт
	Частота вращения	6000–60000 об/мин	3000–30000 об/мин
	Момент вращения	0,35 Н*м	0,70 Н*м
Привод оси Х	Макс. длина реза	320 мм
	Скорость	0,1 – 600 мм/с
Привод оси Y	Макс. длина реза	320 мм
	Шаг	0,1 мкм	0,05 мкм (опционально)
	Точность позиционирования	Менее 3 мкм/320 мм; менее 0,5 мкм/2 мм
Привод оси Z	Макс. ход	32,2 мм	31,4 мм
	Разрешение	0,1 мкм	0,05 мкм (опционально)
	Макс. диаметр диска	60 мм	127 мм
	Повторяемость	1 мкм
Угол поворота Theta		380 °
Рамка ленты-носителя		2−12−1
Дисплей		Цветной LCD 15’’
Габаритные размеры		1290 х 1180 х 1800 мм (ШхГхВ)
Вес		1200 кг