NANO 150G - полуавтоматическая установка дисковой резки
Полуавтоматическая установка NANO 150G предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек различных материалов. Оснащена функцией визуального контроля состояния режущего диска, инновационной вакуумной системой, снижающей потребление воздуха на 60%, интуитивно понятным графическим пользовательским интерфейсом. Имеет эргономичный дизайн для удобства управления. Модель NANO 150G обеспечивает высокую стабильность и повторяемость от процесса к процессу.
Технические характеристики:
Размеры пластин/подложек |
Круглые Ø 6”, квадратные 150х150 мм |
|
Шпиндель |
Макс. мощность |
1,2 кВт/1,8 кВт |
Частота вращения |
10000–60000 об/мин |
|
Тип |
На воздушном подшипнике |
|
Привод оси Х |
Макс. длина реза |
160 мм |
Скорость |
0,1 – 500 мм/с |
|
Привод оси Y |
Макс. длина реза |
160 мм |
Шаг |
0,125 мкм |
|
Точность позиционирования |
3 мкм/5 мм; 5 мкм/160 мм |
|
Привод оси Z |
Макс. ход |
25 мм |
Разрешение |
0,25 мкм |
|
Макс. диаметр диска |
60 мм |
|
Повторяемость |
1 мкм |
|
Привод вращения по углу Theta |
Макс. угол поворота |
360 ° |
Разрешение |
0,405’ |
|
Дисплей |
Цветной LCD 15’’ |
|
Габаритные размеры |
620 х 920 х 1810 мм (ШхГхВ) |
|
Вес |
400 кг |