27 июля 2020
Атомно-слоевое осаждение как технология герметизации металлических электродов
Компания Picosun
предоставила отчет о результатах использования установок атомно-слоевого
осаждения для герметизации металлических электродов медицинских биоэлектронных
устройств. Предоставленные результаты показали превосходную герметичность, что
крайне важно для медицинских имплантатов, металлические части которых
необходимо защищать от коррозии в биологических жидкостях организма.
Полученные с помощью оборудования Picosun наноламинаты полностью блокируют
диффузию ионов Na+, K+, Cl– и PO4(3−), то есть самых агрессивных видов в жидкой
среде. Тесты проводились при температуре 87 °C в растворе PBS в течение двух
месяцев.
Для защиты платиновых электродов методом атомно-слоевого осаждения (АСО) в
первую очередь был нанесен барьерный слой HfO2, а затем слой биосовместимого
органического полимера PDMS. Слой HfO2 обеспечил хорошую адгезию и герметичную
защиту металлической поверхности. А слой полимера необходим для увеличения
прочности двуслойной структуры.
Образцы с двуслойной герметизации тестировались в растворе PBS в течение 450
дней при комнатной температуре.
Оба теста показали, что технология атомно-слоевого осаждения имеет огромный
потенциал в производстве медицинских устройств. Тенденции к уменьшению размеров
устройств наблюдаются и в медицинской микроэлектронике. Размеры имплантатов
становятся меньше, а время их использования больше. Традиционные методы
герметизации оказались неприменимы при таких условиях. Технология АСО позволит
создавать более функциональные имплантируемые медицинские устройства,
обеспечивая инертность устройств внутри тела человека.
Более подробно об
оборудовании Picosun.
keyboard_arrow_leftВернуться к списку