IntelliSuite - проектирование микроэлектромеханических

3D Builder Программа для интерактивного или автоматического создания структурированной или неструктурированной сетки разбиения.


Blueprint Топологический редактор проектирования MEMS устройств.

IntelliEtch Программа для моделирования мокрого и ионного (DRIE) травления с поддержкой набора масок.

Exposure Программа моделирования процессов фотолитографии, например, экспонирования, постэкспозиционной термообработки, проявления.

RECIPE Программа моделирования различных процессов травления (RIE, ICP, DRIE, Bosch), позволяющая оценить профили стенок и проблемы травления до передачи топологии на изготовление.

IntelliFab Программа моделирования и отладки MEMS технологического процесса.


FabViewer Программа визуализации технологического процесса.


FabSim Программа создания фотореалистичных моделей и сечений на основе физического моделирования MEMS устройства.
SYNPLE Программа моделирования MEMS устройств на системном уровне.

ThermoElectroMechanical (TEM) & ElectroMagnetic Модуль мультифизического моделирования MEMS структур.

MicroFluidics Программа 3D моделирования микрожидкостных и биомикроэлектромеханических устройств с использованием метода уравнений Навье-Стокса.


