CheckMate - серия многоцелевых зондовых станций

В состав серии ChekMate входят многоцелевые зондовые станции для DC-измерений с различным уровнем автоматизации управления рабочими узлами. Серия отличается универсальностью, надежностью и качеством, имеет держатели пластин размером 200 мм или 300 мм и узел для грубого и точного перемещения образца с субмикронным разрешением.

Модели CM210/CM310 обладают ручным управлением узлами держателя и микроскопа. Для них минимальный шаг перемещения пластин по X/Y составляет 0,5 мм. В моделях CM220/CM320 ручное управление перемещением заменено на моторизованное, в котором позиционирование узлов держателя и микроскопа выполняется с использованием джойстика. Модель CM230 содержит блок прецизионного управления узлами держателя и микроскопа. Для нее точность ручного позиционирования образца будет достигать 0,1 мм. Модели CM250/ CM350 представляют собой полуавтомат с полным набором возможностей для реализации функций автоматизации:

— программируемое управление перемещением микроскопа и держателя пластин;

— поддержка до 4−х автоматизированных позиционеров зондов;

— возможность цифрового управления температурой рабочей зоны в диапазоне от -65°C до +200°C;

— использование лазерного резака для редактирования топологий, смонтированного на микроскопе высокой мощности марки Motic.

Станции серии CheckMate рекомендованы для использования в целях детального измерения образцов при мелкосерийном и серийном производстве на предприятиях электронной промышленности, научно-исследовательских лабораториях.

Таблица основных характеристик моделей серии CheckMate: