NDS 306−312 CSL - серия установок УФ засветки ленты-носителя пластин
Серия установок NDS 306−312 CSL предназначена для засветки ленты,
чувствительной к ультрафиолетовому излучению, в целях уменьшения ее адгезии
перед снятием кристаллов с разрезанной пластины.
Преимущества моделей серии:
- Высокая однородность излучения
- ПЛК контроль
- Встроенный датчик интенсивности
Технические характеристики моделей:
|
Диаметр пластин |
6” (NDS 306 CSL), 8” (NDS 308 CSL) и 12” (NDS 312 CSL) |
|
Питание |
220 В, 60 Гц |
|
Длина волны УФ изучения |
365 нм |
|
Интенсивность УФ излучения |
60 — 120 мДж/см2*с |
|
Размеры (ДхШхВ) |
730 х 680 х 1000 мм |
|
Вес |
150 кг |
Оборудование дисковой резки пластин на кристаллы