26 июля 2021

Группа компаний Picosun Group запатентовала решение на основе атомно-слоевого осаждения (ALD) для защиты материалов от коррозии в процессе плазменного травления. Технологическое решение позволит повысить производительность и однородность пленок в процессах производства. Новая разработка, получившая название PicoArmourTM, обеспечивает более эффективную защиту от коррозии по сравнению с традиционными решениями, используемыми сегодня.

Технологические процессы изготовления полупроводниковых пластин включают в себя несколько этапов, в том числе плазменное травление. Неизбежным следствием использования химикатов для травления является травление самого инструмента. Распространенным решением для снижения повреждения инструмента является нанесение коррозионно-стойкого покрытия на инструмент для травления с использованием, например, вакуумного напыления или распыления спреем пленок Y2O3. По сравнению со стандартным решением на основе пленок Y2O3, PicoArmourTM представляет собой до пяти раз более быстрый и экономичный способ получения защитного покрытия.

Группа компаний Picosun разработала решение PicoArmour TM, которое заключается в объединении процесса атомно-слоевого осаждения ALD слоев с высокой устойчивостью к травлению (Y2O3) с атомно-слоевым осаждением более надежных слоев (Al2O3). Такое решение сочетает в себе скорость и удобство техпроцесса нанесения Al2O3 с долговечностью слоя Y2O3, однако требует тщательного контроля состава пленки. С помощью технологии ALD защитный эффект может быть достигнут с помощью более тонких пленок, что, в свою очередь, приводит к экономии материалов.

Чтобы узнать больше о PicoArmourTM и исследовании, проведенном Picosun в отношении защитных покрытий, обращайтесь пожалуйста к специалистами компании Евроинтех.