04 декабря 2019

Твердотельные литий-ионные тонкопленочные аккумуляторы безопасны в использовании, компактны и имеют отличную энергоемкость. Поэтому они широко используются в качестве источников питания для электромобилей, ноутбуков, планшетов, смартфонов, беспроводных портативных сенсоров и других электронных устройств.

Ежегодное увеличение производительности и функциональности электронных устройств требует внедрения новых технологий в производство источников питания этих устройств. Одна из таких технологий – это переход от двумерной геометрии аккумуляторов к трехмерной. Трехмерная конфигурация электродов увеличивает активную площадь поверхности, что повышает удельную мощность и энергоемкость аккумуляторов. Однако, подбор технологии осаждения функциональных слоев на 3D микроструктуры с высоким аспектным отношением довольно затруднителен.

Компания Picosun – ведущий производитель оборудования для атомно-слоевого осаждения тонких пленок – разработала технологию получения тонкопленочных NiO анодов высокого качества для литий-ионных аккумуляторов. По сравнению с графитом, который широко используется в качестве материала для анодов литий-ионных аккумуляторов, осажденные пленки NiO позволяют увеличить емкость аккумуляторов более чем в 2 раза и более чем в 3 раза увеличить удельную мощность.

Кроме того, технология атомно-слоевого осаждения позволяет получать однородные и равномерные покрытия с отличной воспроизводимостью даже на трехмерных микроструктурах, что делает ее идеальной для производства твердотельных литий-ионных аккумуляторов с трехмерной конфигурацией электродов. Также, атомно-слоевое осаждение подходит для получения пленок других материалов анодов: SnO2, CoO и MnO.

Более подробно об оборудовании для атомно-слоевого осаждения Picosun.