Современные решения для производства электроники

11 июня 2019

Оборудование ионного и ионно-ассистированного напыления

Компания TFE Srl (Италия), производитель оборудования для вакуумного осаждения тонких плёнок, заявила о выпуске новой модели установки ионного напыления.

Установка оборудована двумя ионными источниками, планетарной системой вращения подложек, встроенной системой контроля толщины и оптических характеристик напыляемого покрытия.

Также доступны модели ионно-асситированного напыления, у которых источником осаждаемого материала является электронно-лучевой испаритель.

Типовым применением подобного оборудование является осаждение многослойных оптических покрытий, где есть чередование материалов с высоким и низким коэффициентом отражения.

 

keyboard_arrow_leftВернуться к списку
Новости