Семинар: Оборудование для фотолитографии

Компания Евроинтех провела семинар, посвященный обзору возможностей технологического оборудования для фотолитографии. В семинаре было рассмотрено оборудование, позволяющее проводить следующие технологические операции: нанесение, проявление и сушка фоторезиста, контактная фотолитография (совмещение и экспонирование), плазменное удаление остатков фоторезиста, изготовление и отмывка фотошаблонов.